Алибеков А.Г.
Математическая модель массопереноса в газотранспортном реакторе
Mathematical model of mass tranfer in the gas-transport reactor
| УДК: |
532.5 |
| Аннотация: |
Рассматривается метод роста пленок в газотранспортном реакторе и возможность управления параметрами роста пленки. Газотранспортный метод выращивания эпитаксиальных пленок получил широкое распространение, поскольку позволяет количественно исследовать процесс роста пленок при гетерогенном взаимодействии с газовой фазой. Методом прямых получено численное решение о массопереносе в газотранспортном реакторе, в предположении, что химические реакции, идущие на поверхности источника и подложки, равновесны. |
Ключевые
слова: |
пленка, газотранспортный реактор, параметр роста, гетерогенное взаимодействие, метод прямых, химические реакции, источник, подложка |
| Abstracts: |
The method of film growth in the gas-transport reactor and opportunity of parameter control of film growth are considered in the given paper. The above mentioned method is wide spread in the sphere of epitaxial films growing. It allows to research quantitatively the process of film growth under heferogeneous interaction with gas phase. Computational solution of mass transfer in the gas-transport reactor is obtained, assuming that chemical reactions realising on the surface of the source and the substrate are balanced. |
| Keywords: |
film, gas-transport reactor, parameter growth, geterogeneons interaction, method of linen, chemical reactor, sourse, botton layer |
Авторы статьи:
АЛИБЕКОВ
Абдусалам Гаджиевич
dstu@dstu.ru |
старший преподаватель кафедры прикладной математики и информатики Дагестанского государственного технического университета |
Список литературы:
| 1. |
Л.Н. Александров. Процессы роста и структуры монокристаллических слоев полупроводников. Труды симпозиума 1968 г., г. Новосибирск. |
| 2. |
И.М.Котелянский. Исследование процесса роста эпитаксиальных пленок CdS в открытой газотранспортной системе. Известия АН СССР, №7 1971 г. |
| 3. |
Краткий справочник физико-химических величин (под редакцией К.П.Мищенко, А.А.Равдаля)."Химия".М.,1965. |
| 4. |
А.С.Горинов, Н.М.Магомедова. Некоторые особенности массопереноса в газотранспортном реакторе. ДПТИ, Махачкала,1980г. |
| 5. |
И.С.Березин, Н.П.Жидков. Методы вычислений. М., Физматиздат,1962 г. |
|
|
