Центр сопряженного мониторинга окружающей среды и природных ресурсов
«Мониторинг. Наука и технологии» Рецензируемый и реферируемый научно-технический журнал
Меню раздела «МНТ»
ГЛАВНАЯ
цели и задачи
Перечень ВАК
ВЫПУСКИ
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
выпуск №1
статья #01
статья #02
статья #03
статья #04
статья #05
статья #06
статья #07
статья #08
статья #09
статья #10
статья #11
статья #12
статья #13
статья #14
статья #15
выпуск №2
выпуск №3
выпуск №4
2012
2011
2010
2009
все выпуски
АВТОРАМ
этика
порядок рецензирования
правила для авторов
ПОДПИСКА
О ЖУРНАЛЕ
главный редактор
редакционный совет
редакционная коллегия
документы
свидетельство
issn
ENG
Меню разделов
ГЛАВНАЯ
Раздел: «ЦЕНТР»
Раздел: «МНТ»
Раздел: «ЭЦП»
Раздел: «MST»

Алибеков А.Г.
Математическая модель массопереноса в газотранспортном реакторе
Mathematical model of mass tranfer in the gas-transport reactor
УДК:
532.5
Аннотация:
Рассматривается метод роста пленок в газотранспортном реакторе и возможность управления параметрами роста пленки. Газотранспортный метод выращивания эпитаксиальных пленок получил широкое распространение, поскольку позволяет количественно исследовать процесс роста пленок при гетерогенном взаимодействии с газовой фазой. Методом прямых получено численное решение о массопереносе в газотранспортном реакторе, в предположении, что химические реакции, идущие на поверхности источника и подложки, равновесны.
Ключевые
слова:
пленка, газотранспортный реактор, параметр роста, гетерогенное взаимодействие, метод прямых, химические реакции, источник, подложка
Abstracts:
The method of film growth in the gas-transport reactor and opportunity of parameter control of film growth are considered in the given paper. The above mentioned method is wide spread in the sphere of epitaxial films growing. It allows to research quantitatively the process of film growth under heferogeneous interaction with gas phase. Computational solution of mass transfer in the gas-transport reactor is obtained, assuming that chemical reactions realising on the surface of the source and the substrate are balanced.
Keywords:
film, gas-transport reactor, parameter growth, geterogeneons interaction, method of linen, chemical reactor, sourse, botton layer

Текст статьи Текст статьи
1,5 МБ
Скачать

вернуться к списку статей

Авторы статьи:
АЛИБЕКОВ
Абдусалам Гаджиевич
dstu@dstu.ru
старший преподаватель кафедры прикладной математики и информатики Дагестанского государственного технического университета
Список литературы:
1.
Л.Н. Александров. Процессы роста и структуры монокристаллических слоев полупроводников. Труды симпозиума 1968 г., г. Новосибирск.
2.
И.М.Котелянский. Исследование процесса роста эпитаксиальных пленок CdS в открытой газотранспортной системе. Известия АН СССР, №7 1971 г.
3.
Краткий справочник физико-химических величин (под редакцией К.П.Мищенко, А.А.Равдаля)."Химия".М.,1965.
4.
А.С.Горинов, Н.М.Магомедова. Некоторые особенности массопереноса в газотранспортном реакторе. ДПТИ, Махачкала,1980г.
5.
И.С.Березин, Н.П.Жидков. Методы вычислений. М., Физматиздат,1962 г.
 
МНТ Выпуски 2013 Выпуск №1 Статья #11
© ООО «ЦСМОСиПР», 2020
Все права защищены
Яндекс.Метрика
  +7(926) 067-59-67
  +7(963) 406-99-55